孔梅影

    1977年黄昆先生到中国科学院半导体研究所担任所长后，为了加强半导体基础物理研究，立即组建半导体物理研究室（我所原有的物理研究组由于“文化大革命”的干扰而早已解体）。根据黄先生的意见，将我负责的研究小组调整到了物理室，当时我们组的工作是自力更生地研制分子束外延（molecularbeamepitaxy， MBE）设备（由于西方国家封锁、禁运）。新成立的物理室没有室主任，由黄先生直接指导，我是副主任，另一副主任钟战天任命不久就出国进修了，这使我十分有幸能直接受到黄先生的关心、指导，同时也协助他做些物理室的具体工，特别是我们组的MBE设备研制工作和后来的MBE材料研制工作，受到黄先生的极大关注，他从MBE设备的研制、研究骨干的培养和科研经费的保证以及国际先进的设备的引进等多方面给了我们工作许多支持和帮助，指导和推动了我们工作的发，每当回忆起黄先生对我们MBE工作的关心、支持和指导，总会令我感到非常温暖，充满感激之情。

    回想当时听到要将我们组调整到物理室时，我真感到有些意外和惶，意外是，没有想到黄先生组建半导体物理研究室会和我们组有了直接关系，还猜想可能是黄所长“高姿态”，收容了我们这个在当时不令器件研究室感兴趣的设备研制，惶恐是，因为听说黄先生对研究工作的物理思想、学术水平都要求很高，而我们研制的MBE设备主要是涉及一系列高新技术（超高真空、精密机械、高精度的自动控制、电子光学、电子能谱、质谱、低温等），我们对这些技术过去都不熟习，是边干边学，其中不少技术当时在国内还处于研制阶段，怕以后被黄先生问到什么问题因了解不深而尴，但后来在和黄先生的工作接触中我才发现，虽然黄先生自己从事理论物理研究，但也十分重视和关心实验研究和设备研制工，特别对MBE设备的研制，黄先生在和我们讨论工作时很平易近人，不论会上会下，常会很仔细地询问、了解一些研制中的技术问题，并且总能从物理本质上提出一些很有启发性的问题，令人深思，对我们的工作很有指导意，大家对黄先生渊博的学识和深刻的物理思维都非常钦，他对研究人员也多是热情鼓励，但是对那些夸夸其谈、不懂装懂等不良学风，他十分反感，有时会不顾情面地当众尖锐指，通过他的言传身教，在半导体所形成了较好的科研求实风，那时，黄先生的党组织关系也在物理室党支，他虽是所长，但总是十分谦虚地以一个普通党员身份参加党支部的活动，并且处处严于律己，模范带，他高尚的人格风范也受到我们发自内心的敬重。

    物理室成立后，起初我想黄先生是做理论研究的，所长工作又很忙，而我们的设备研制中大都是技术问题，以为黄先生对我们的工作不一定有兴，那时我经常去外地合作单位搞设计和做试验，因此很少向他汇报工，直到有一天黄先生见到我，以他常有的幽默口吻似开玩笑地对我说：“你什么时候出差去了，我不知道；你什么时候回来了，我也不知道；你们在外面的工作情况，我也不知道！”我一听心想：“糟了，黄先生这不是明明在批评我嘛！”后来当我再次外出做实验回来，立即去找黄先生汇报物理室的工作，黄先生却只要我谈我们设备的研制情，他说，别的组的情况他自己可以去了，黄先生的谈话使我深切地感受到他对研制MBE设备的重视和关心，虽然在当时他也很需要有人能协助他抓些物理室的具体工作，却支持我将主要精力用于MBE设备的研制工作。

    当后来继任的王守觉所长和党委决定调我去半导体所科技处任处长，并要求我全力以赴时，我感到十分为难和矛，黄先生知道后对我说：“组织上决定你去，你就应该去（那时大家的主流思想确实都是服从组织决定，听从组织安排），而MBE组的研究工作你也要继续做好，要两头兼，”黄先生的教诲使我豁然开，我想，黄先生不就是服从组织安排、两头兼顾的典范吗？黄先生的工作一定非常累，我也应向他学习这种刻苦努力、勤奋敬业的精，后来，可能是所领导和党委知道了黄先生的意见，也不再要求我“全力以赴”，这件事也使我更体会到黄先生对MBE工作的重视和他所寄予的厚望。

    黄先生积极鼓励我们自力更生研制MBE设备，同时又大力支持我们在有条件、有机会时，多吸取国外的先进经验和培养MBE研究骨，1980年所里派出的第一批出国学习的访问学者中，就有我组的孙殿照同志，他去日本学习MBE两，1982年初，有一天黄先生对我说：“院里给了我所一个短期去英国做交换学者的名额，你看物理室派谁去？”我看通知上建议的专业是表面物理，就说：“让表面物理组去一人，”黄先生说：“表面物理是MBE研究的内容之一，我的意见是你去，不知你有没有困难？”由于当时我没有理解黄先生的思想，而是按自己的想法，认为短期出去就是去做几个月的合作研究，在国际期刊上发表一两篇文章，而黄先生是很看重文章学术水平，因此我说：“这几年我都在做设备研制，现在刚开始生长材料，恐怕到时写不出像样的文，”没想到黄先生却对我说：“过去由于条件限制，你们自力更生、从无到有地将分子束外延设备搞出来，很不容，现在有条件出去看看了，你这次出去主要是通过合作研究和参观交流，学习国外分子束外延设备制作和材料生长方面的先进技术、经验，回来能提高国内工作水平，而发不发表文章不是主要，”黄先生的这番语重心长的教导，不仅使我明确了这次出国的目的和方向，还又一次令我深深感受到了黄先生对进一步发展我国MBE技术的关心和殷切期望。

    由于我们有在国内研制MBE设备和材料的基础、经验，在国外学习交流时能较好地对比发现国内设备的不足之处和问题所在，也就能较好地将国外的先进经验应用于国内设备的改，我通过在英国的合作研究和参观访问，对国外先进的MBE设备设计思想、关键部件的材质选择以及严格的MBE材料生长工艺等都有了进一步深入的了解和理解，同时也合作发表了获得较好评价的文，1982年底我回国后，立即与孙殿照等人讨论提出了一个彻底改造分子束源组件和更换高温部件材料的设备改造方，与沈阳科学仪器厂合作实施后效果显著，有效地减少了系统的碳污染和提高了分子束源炉的可靠性，成功地解决了当时国内MBE材料总是呈现高阻特性的问题，很快于1983年在国内首先生长出高纯MBE的GaAs薄膜和GaAs/AlGaAs二维电子气材，此改造方案也被国内另两台相同结构的MBE设备全套采用和另一台不同结构的MBE设备部分采用，从整体上提高了我国第一代MBE设备的使用性，1983～1985年，我们利用改造成功的MBE设备，又在国内首先成功研制一系列不同结构的超晶格微结构材，我国MBE技术的这一重要进展，是与黄先生在西方国家禁运封锁的情况下积极为我们创造机会，去国外学习先进的技术和经验直接相，在超晶格微结构材料有所突破的基础上，20世纪80年代中期，半导体所在黄先生的指导下，在国内率先全面地开展了超晶格微结构材料、器件和物理的研究，并很快取得了一些在国际上有影响的研究成果，开拓了我国的半导体超晶格微结构研究领域。

    黄先生对我国MBE的研究在经费方面也给了大力支，为了推动我国超晶格微结构领域的研究，一向不爱出头露面去争取任务和经费的黄先生，在“六五”、“七五”期间亲自牵头承担了中国科学院和国家自然科学基金的“超晶格微结构”重大研究项，在分配项目的经费时，他考虑到，在西方国家封锁禁运的情况下，发展我国MBE技术的困难很多，设备的日常运转费和维修费用都很，在项目总经费不多的情况下，他特别对MBE工作给予了重点的支持，拿出了约1/3的项目经费支持了当时参加此项目的半导体研究所、物理研究所、上海冶金研究所三个单位的MBE材料研究工作，以保障和推动我国MBE工作的正常开展。

    黄先生严于律己，从不轻易伸手向上要条件、要经，他的这种严谨作风，物理室的一些研究人员是既钦佩，但有时又不免有点失落感，为此有人说黄先生是“不食人间烟火”。如物理室刚成立时，缺乏实验条，有一次我根据表面物理组同志的愿望向黄先生反映，希望黄先生能出面向院里申请些经费，为物理室购置一些国外先进设，黄先生听后不以为然地说：“我认为做物理研究，应该是先有新的物理思想，再考虑需要的实验条，只要有好的物理思想提出来，就能争取到经费和设，”当时我还不太理解创新性工作的深远意义，就很冒昧而大胆地说：“黄先生，你这是太理想化了，我们国家的现实还达不，有的单位在某领域原来也并没多少工作基础或新的物理思想，但活动能量大就能争取到大笔经费购置仪器设备，在国内就成了该领域的重要单位，”黄先生听了我的话后想了一下，然后对我说：“也许你说的是目前的现实情况，有一定的道，但我还是坚持我的看法，应该先有自己的物理思想，提出要研究的问题后再提所需要的设，”而对MBE设备，黄先生在大力支持自力更生研制和改进设备的同时，也积极支持在有可能时的设备引，随着我国超晶格微结构领域研究工作，特别是新型二维半导体器件研制的发展，对MBE材料的要求日益提高，但材料性能的提高和稳定，从根本上说是必须有稳定性好的高性能设备作为基，由于受国内工业基础和技术条件的限制，国产设备在稳定性方面与国外先进的MBE设备还有相当的差距，若有可能设法从国外引进一台性能稳定的先进设备，必可加快我国超晶格微结构领域的进，为此黄先生曾亲自给邓小平同志去信提出引进建议，而后来国家在建设表面物理实验室时引进MBE设备（因禁运未能全套引进），是与黄先生的建议有很大关，我想，这可能是黄先生生平唯一的一次亲自上书中央，建议国家引进一台仪器设备，而这台设备就是MBE设，对比这前后两件事可以看出，黄先生是多么重视和支持我国MBE技术的建立和发展。

    从上可见，我国MBE技术的开拓和发展，与黄先生的重视和推动密不可，我想，黄先生对MBE技术的重视是缘于他对超晶格微结构领域的重，20世纪60年代末70年代初，国际上提出了“超晶格”的理论预期和用MBE技术制备出了这种人工改性新材，黄先生以他渊博的学识和深邃的学术眼光，高瞻远瞩地预见到这是一个有重要发展前景的新领域，认为它代表了新一代的半导体科学技，从而他大力倡导和指导了超晶格微结构领域在我国的开拓和发，他将超晶格材料的生长技术和设备视为是“超晶格研究的生命线”，因此对开拓和发展我国MBE技术给予了如此高度的重视和支持。

    我感到非常幸运，在黄先生来半导体所当所长后，能将我们MBE小组纳入他直接指导的物理室，在他的关心、支持和指导下，为发展我国的超晶格微结构研究奉献出一分力，过去，每当我们工作有些进展时，黄先生都给我们很大的肯定和鼓，在我所组织的庆贺黄昆、王守武、林兰英三位老院士八十华诞的大会上，黄先生在谈到他来半导体所的工作时，还谈到当初他将MBE组纳入物理室时，并没有想到MBE组能做出这么多的工，散会后在办公楼门前遇见我时，他又说起我们组的工，后来我所新任的党委书记陈树堂同志告诉我，一次他和新所长去探望病中的黄先生时，黄先生还和他们谈到我们MBE组的工作和成，这一次次的肯定和鼓励，令我非常感动，也十分惭愧、遗，感动的是，黄先生对开拓、发展我国MBE技术和超晶格微结构材料工作给予了这么大的重视和支持，还对我们工作给予了这么多的肯定；惭愧的是，由于受自己学识水平和思想水平所限，还有许多工作未能做，做了的也有许多的不足之处；遗憾的是，时光不能倒流，我已没有条件再在黄先生的直接领导和指导下来弥补过去的不足，黄先生对MBE工作的关心、重视和支持，以及对我的培养、教导和鼓励，使我终身难忘，永远铭刻在心。

    黄先生虽然走了，但他的精神和风范与世长，他崇高的道德品质、伟大的科学巨人形象，永远活在我们心，他永远是科技工作者学习的楷模、共产党员的光辉榜样。

    作者简介

    孔梅影，1956年四川大学物理系毕业后留校任教，1963年调中国科学院半导体研究所工，曾任分子束外延组组长和半导体超薄层材料室主任以及半导体所科技处处长、研究员、博士生导，曾先后获得国家科技进步二、三等奖各2项，中科院科技进步一等奖项、二等奖3 4项，电子部“七五”、“八五”科技攻关重大成果奖分别为1项和2项。

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